有限元分析已经成为工程设计的重要手段，如下是对三坐标测量机工作台所做的变温分析。环境温度由18℃，经过15个时间单位后，上升至22℃。计算结果显示了工作台内部温度响应的滞后，以及温度变化所造成的精度损失情况。分析结果同时表明，短期温度变化对用矿物铸件制造的测量机工作台的尺寸精度无显著影响。